用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩定、易分解的強氧化劑，因此要現場制造。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發生器和氣水接觸設備組成。大規模生產臭氧的唯一方法是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。原料氣必須經過除油、除濕、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10~20毫克/升;用氧氣制成臭氧的濃度為20~40毫克/升。這種含有1~4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。